Яка різниця між скаттерометрією та еліпсометрією?
Еліпсометрія забезпечує характеристики матеріалів ізоляторів, напівпровідників і тонких металевих плівок. Використовуючи вдосконалене програмне забезпечення, Скаттерометрія може визначити форму поперечного перерізу та розміри ліній або контактних отворів, коли спектроскопічна еліпсометрія використовується для характеристики структури решітки.
Рефлектометр вимірює співвідношення інтенсивності світла, тоді як спектроскопічна еліпсометрія вимірює зміну стану поляризації світла. І спектроскопічна еліпсометрія, і рефлектометрія є безконтактними оптичними методами, і обидва вимагають моделювання для отримання результату.
Таким чином, еліпсометричні вимірювання легше виявляють ультратонкі шари (менше 5 нм), ніж лише вимірювання коефіцієнтів відбиття та пропускання. Спектрофотометрія передбачає вимірювання коефіцієнта відбиття та/або пропускання світла через тонкі плівки та підкладки як функції довжини хвилі.
Тому в основному використовується еліпсометрія для визначення товщини плівки та оптичних констант. Однак його також застосовують для характеристики складу, кристалічності, шорсткості, концентрації допування та інших властивостей матеріалу, пов’язаних зі зміною оптичного відгуку.
Істотним недоліком еліпсометрії є те плівка повинна бути максимально рівною і без забруднень. Це означає, що виготовлення відповідної підкладки буде складним для деяких матеріалів.