На благо

Таким чином, еліпсометричні вимірювання легше виявляють ультратонкі шари (менше 5 нм), ніж лише вимірювання коефіцієнтів відбиття та пропускання. Спектрофотометрія передбачає вимірювання коефіцієнта відбиття та/або пропускання світла через тонкі плівки та підкладки як функції довжини хвилі.

Як згадувалося раніше, спектрометри вимірюють випромінювану речовину світла, тоді як спектрофотометрія вимірює колір, який він створює. Спектрофотометри інакше називають спектрометрами UV-Vis. Вихідний сигнал спектрофотометра зазвичай вимірюється в спектрі поглинання зразка.

Рефлектометр вимірює співвідношення інтенсивності світла, тоді як спектроскопічна еліпсометрія вимірює зміну стану поляризації світла. І спектроскопічна еліпсометрія, і рефлектометрія є безконтактними оптичними методами, і обидва вимагають моделювання для отримання результату.

Спектроскопічна еліпсометрія ψ і Δ, обидва з яких описують вихідний стан еліптичної поляризації після того, як лінійно поляризоване світло відбивається похило від зразка тонкої плівки. Параметри ψ і Δ пов'язані з комплексними коефіцієнтами відбиття Френеля відповідно до: ρ = tan ψ eiΔ = rp / rs.

В інтерферометрії світло зазвичай падає на зразок у нормальному напрямку, але в еліпсометрії воно повинно мати певний кут (напівкут Брюстера)..

Які бувають типи спектрофотометрів?

• Спектрофотометр VIS.
• UV VIS спектрофотометр.
• Інфрачервоний спектрофотометр.
• Флуоресцентний спектрофотометр.
• Атомно-абсорбційний спектрофотометр.